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Cleaning of carbon contamination on multilayer optics of EUVL 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11
作者:  Song, Y.;  Q.-P. Lu;  X.-P. Gong;  Y. Wang and Z.-Q. Peng
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Fizeau干涉仪主机的热稳定性设计与分析 期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 9, 页码: 2100-2107
作者:  王平;  王汝冬;  田伟;  王立朋;  隋永新;  杨怀江
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