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小型高精度软X射线_极紫外反射率计 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 10
作者:  尼启良;  刘世界;  陈波
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13_9和19_6nm正入射Mo_Si多层膜反射镜的反射率测量 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 9
作者:  董宁宁
caj(434Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:243/59  |  提交时间:2012/09/25
极紫外单色仪波长定标 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 9
作者:  董宁宁
caj(264Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:348/69  |  提交时间:2012/09/25