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Fabrication of ultra-high aspect ratio silicon grating using an alignment method based on a scanning beam interference lithography system 期刊论文
Optics Express, 2022, 卷号: 30, 期号: 22, 页码: 40842-40853
作者:  X. S. Chen;  S. Jiang;  Y. B. Li;  Y. X. Jiang;  W. Wang and Bayanheshig
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Effects of the gap slope on the distribution of removal rate in Belt-MRF 期刊论文
Optics Express, 2017, 卷号: 25, 期号: 22
作者:  Wang, D.;  H. Hu;  L. Li;  Y. Bai;  X. Luo;  D. Xue and X. Zhang
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Fabrication of high-efficiency and low-stray-light grating by inductively coupled plasma(ICP) etching-polishing method 期刊论文
Optics Express, 2016, 卷号: 24, 期号: 6
作者:  Tan, X.;  Q. B. Jiao;  X. D. Qi and H. Bayan
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