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Modified thickness distribution model for large-diameter optical coatings 期刊论文
Optics Communications, 2014, 卷号: 334, 期号: 1, 页码: 115-117
作者:  Wang T.-T.;  Gao J.-S.
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A model for multilayer analysis in a coated extreme ultra-violet lithography projection system 期刊论文
Optics Communications, 2014, 期号: 332, 页码: 339-342
作者:  Wang J.;  Jin C. S.;  Wang L. P.;  Xie Y.
Adobe PDF(542Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：224/50  |  提交时间：2015/04/24