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Detection system of multilayer coating microstructure defects based on differential interference contrast confocal microscopy 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 255-264
作者:  Dai, Cen;  Gong, Yan;  Zhang, Hao;  Li, Dian-Meng;  Xue, Jin-Lai
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Multilayers  Coatings  Confocal microscopy  Defects  Diffraction  Extreme ultraviolet lithography  Microstructure  
Research on the interference technology of high repetition frequency CO2 laser 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 6, 页码: 983-990
作者:  Chen, Jian;  Gao, Hui-Bin
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Laser damage  Carbon dioxide  Carbon dioxide lasers  Damage detection  Thin films