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光刻物镜中主动液体透镜的像差特性研究 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 12, 页码: 1222003
作者:  袁文全;  巩岩
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深紫外光刻照明系统扩束单元设计 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1122004-1
作者:  赵阳;  巩岩;  张巍
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温度对Fizeau干涉仪测量重复性的影响 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 12, 页码: 1212008
作者:  苗二龙;  谷勇强
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干涉检测中环境温度引起的镜面变形分析 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 1, 页码: 112007
作者:  史振广;  隋永新;  杨怀江
Adobe PDF(793Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：519/151  |  提交时间：2012/05/11