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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [6]
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期刊论文 [6]
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2011 [6]
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光学学报 [6]
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EI [6]
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收录类别:EI
出处:光学学报
文献类型:期刊论文
专题:中科院长春光机所知识产出
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投影光刻物镜倍率的公差分析与补偿
期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1122003-1-4
作者:
杨旺
Adobe PDF(401Kb)
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提交时间:2012/05/11
温度对Fizeau干涉仪测量重复性的影响
期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 12, 页码: 1212008
作者:
苗二龙
;
谷勇强
Adobe PDF(728Kb)
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浏览/下载:503/166
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提交时间:2012/05/11
自重变形对超高精度Fizeau干涉仪的光学性能影响
期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 7, 页码: 0712001-1
作者:
张健
;
刘伟奇
;
王汝冬
;
康玉思
;
冯睿
;
魏忠伦
;
柳华
Adobe PDF(819Kb)
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浏览/下载:555/166
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提交时间:2012/05/11
双光栅平场全息凹面光栅光谱仪的优化设计
期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 2, 页码: 0205001-1
作者:
巴音贺希格
;
李文昊
;
唐玉国
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浏览/下载:591/222
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提交时间:2012/05/11
绝对检验参考镜误差分析与热变形模型建立
期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 2, 页码: 2120021-9
作者:
袁文全
;
王平
;
刘伟奇
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浏览/下载:466/127
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提交时间:2012/05/11
干涉检测中环境温度引起的镜面变形分析
期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 1, 页码: 112007
作者:
史振广
;
隋永新
;
杨怀江
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提交时间:2012/05/11