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Simulation model of surface carbon deposition contamination under extreme ultraviolet radiation 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 5
作者:  Wang X.;  Jin C.;  Kuang S.;  Yu B.;  Jin F.
caj(351Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：260/81  |  提交时间：2015/04/24
Foundation and application of model for multilayers analysis in extreme ultra-violet lithography projection 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 8
作者:  Wang J.;  Jin C.;  Wang L.;  Guo B.;  Yu B.
caj(491Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：273/79  |  提交时间：2015/04/24