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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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作者
张霞 [1]
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2018 [1]
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Nanoscienc... [1]
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收录类别:SCI
出处:Nanoscience and Nanotechnology Letters
作者:张霞
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Roughness Reduction of Large-Area High-Quality Thick Al Coatings for Large-Size Echelle Gratings by Chemical Mechanical Polishing
期刊论文
Nanoscience and Nanotechnology Letters, 2018, 卷号: 10, 期号: 1, 页码: 69-74
作者:
Song, C.
;
Li, Z. Z.
;
Zhang, X.
;
Li, Q.
;
Yang, H. G.
;
Gao, J. S.
;
Xing, S.
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提交时间:2019/09/17
Thick Al Coatings
Echelle Grating
Chemical Mechanical Polishing
design
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Physics