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光学精密工程 38 微细加工技术 12 光谱学与光谱分析 7
微波学报 7 光学学报 6 压电与声光 5
激光与光电子学进展 5 中国机械工程 4 仪器仪表学报 4
传感技术学报 4 光子学报 4 哈尔滨工业大学学报 4
工程设计学报 4 微特电机 4 微纳电子技术 4
机械工程学报 4 仪表技术与传感器 3 光机电信息 3
功能材料与器件学报 3 Microsyst Technol 2