Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 复杂曲面光学元件高精度面形检测技术概述 | |
刘斌; 王孝坤 ; 程强; 刘忠凯; 李凌众; 蔡梦雪; 张洛嘉; 李文涵; 王金成; 张学军
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| 2024 | |
| 发表期刊 | 南通大学学报(自然科学版)
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| 卷号 | 23期号:01页码:1-27 |
| 摘要 | 复杂曲面光学元件应用于光学系统中可以增大系统设计自由度，同时减少系统所需元件数量，有利于实现光学系统的紧凑化、轻量化，被誉为现代光学系统的变革性元件，被广泛应用于空间光学、光刻系统、汽车照明等领域，极大推动了航天、国防及高科技民用事业的发展。然而，复杂曲面光学元件对面形精度要求较高，如何对其面形进行高精度检测从而指导加工成为限制该类元件大范围应用的瓶颈。文章对10余种常用的复杂曲面光学元件面形检测方法进行了分类梳理，按照是否采用干涉原理，将检测方法分为非干涉检测法和干涉检测法两大类，分别介绍了各种检测方法的原理和适用范围，回顾了各方法的发展历程，着重分析了几种典型方法进行面形检测的特点，并对未来复杂曲面光学元件高精度面形检测技术的发展趋势加以展望。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/68744 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 作者单位 | 1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 2.中国科学院大学 3.应用光学国家重点实验室 4.中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘斌,王孝坤,程强,等. 复杂曲面光学元件高精度面形检测技术概述[J]. 南通大学学报(自然科学版),2024,23(01):1-27. |
| APA | 刘斌.,王孝坤.,程强.,刘忠凯.,李凌众.,...&张学军.(2024).复杂曲面光学元件高精度面形检测技术概述.南通大学学报(自然科学版),23(01),1-27. |
| MLA | 刘斌,et al."复杂曲面光学元件高精度面形检测技术概述".南通大学学报(自然科学版) 23.01(2024):1-27. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 复杂曲面光学元件高精度面形检测技术概述.（1861KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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