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计算全息检测技术的精度溯源研究现状分析(内封面文章)
李佳; 程强; 王孝坤; 胡海翔; 李龙响; 李洪士; 薛栋林; 张学军
2024-08-21
发表期刊红外与激光工程
卷号53期号:08页码:150-164
摘要随着光学系统性能的要求越来越高,非球面、自由曲面等复杂光学曲面能够提升系统的成像性能,因此提升复杂光学曲面的检测精度极为重要。干涉检测是测量复杂光学曲面的重要手段,其中计算全息检测法(Computer Generated Hologram,CGH)作为干涉检测中的一种,因其精度高和设计自由度大等优点得到了广泛的应用。但是在CGH检测复杂曲面的过程中存在的各类误差会影响波前检测的精度。文中首先介绍了计算全息法的检测精度现状,其次归纳总结了造成计算全息法误差的主要因素。分别介绍了不同误差的产生原理、影响效果、相对应标定补偿方法及适用情景和优缺点;并介绍了基于CGH占空比与线条位置误差的调研现状分析以及现有的研究方法;最后对计算全息法检测的精度溯源和精度提升研究趋势进行了展望。
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/68643
专题中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
作者单位1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
2.中国科学院大学
3.应用光学国家重点实验室
4.光学系统先进制造重点实验室(中国科学院)
推荐引用方式
GB/T 7714
李佳,程强,王孝坤,等. 计算全息检测技术的精度溯源研究现状分析(内封面文章)[J]. 红外与激光工程,2024,53(08):150-164.
APA 李佳.,程强.,王孝坤.,胡海翔.,李龙响.,...&张学军.(2024).计算全息检测技术的精度溯源研究现状分析(内封面文章).红外与激光工程,53(08),150-164.
MLA 李佳,et al."计算全息检测技术的精度溯源研究现状分析(内封面文章)".红外与激光工程 53.08(2024):150-164.
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