Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于光强轮廓结构的偏振无关高衍射效率二维光栅 | |
| 姜岩秀; 王瑞鹏; 孙雨琦; 王新宇; 李文昊 | |
| 2024 | |
| 发表期刊 | 激光与光电子学进展
 |
| 页码 | 1-15 |
| 摘要 | 针对目前二维光栅设计结构单一、与实际结构不匹配的问题，提出了一种金属-介质二维光栅，不仅具有优异的偏振无关性和高衍射效率，并且光栅结构更符合实际制备的形貌。基于双光束正交曝光单周期干涉场强度分布，构建了基于光强轮廓的二维光栅设计结构，采用傅里叶模态法和粒子群算法对光栅进行优化设计。结果表明，设计的二维光栅在780nm波长下以Littrow角度入射时，TE/TM偏振光衍射效率均大于95%，并且具有优异的偏振无关性和较大的制备容差。此外，通过对比同结构参数下传统圆台、棱台结构的二维光栅衍射效率，表明光栅结构的微小变化对二维光栅衍射效率的影响较大，基于光强轮廓的设计结构可以有效提高光栅设计与实际的匹配度。本文的工作为位移测量领域高精度二维光栅的研制提供了理论基础。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/68625 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 作者单位 | 1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 2.中国科学院大学大珩学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 姜岩秀,王瑞鹏,孙雨琦,等. 基于光强轮廓结构的偏振无关高衍射效率二维光栅[J]. 激光与光电子学进展,2024:1-15. |
| APA | 姜岩秀,王瑞鹏,孙雨琦,王新宇,&李文昊.(2024).基于光强轮廓结构的偏振无关高衍射效率二维光栅.激光与光电子学进展,1-15. |
| MLA | 姜岩秀,et al."基于光强轮廓结构的偏振无关高衍射效率二维光栅".激光与光电子学进展 (2024):1-15. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 基于光强轮廓结构的偏振无关高衍射效率二维（1196KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 请求全文 | |
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