Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于四倍频的垂直外腔面发射深紫外激光器 | |
彭雪芳; 王涛; 朱仁江; 蒋丽丹; 佟存柱 ; 宋晏蓉; 张鹏
| |
| 2024 | |
| 发表期刊 | 中国激光
 |
| 卷号 | 52期号:06页码:128-135 |
| 摘要 | 深紫外激光器在光刻机、微纳激光加工等领域中有着广阔的应用前景。设计了一款结构紧凑的四倍频垂直外腔面发射深紫外激光器。利用特殊设计的半导体增益芯片、折叠镜以及后端反射镜，得到V形激光谐振腔。在工作温度为15℃的条件下，插入5 mm长的三硼酸锂（LBO）晶体，获得了4.5 W的高功率蓝光输出。结合倍频蓝光谐振腔的后端反射镜、紫外折叠镜及紫外输出镜构成了单通四倍频结构。将获得的蓝光通过3 mm长的I类相位匹配偏硼酸钡（BBO）晶体，利用输出镜（透过率为50%@245 nm）获得了功率为29.2 mW的246.8 nm深紫外激光输出。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/68581 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 作者单位 | 1.重庆师范大学物理与电子工程学院 2.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 3.北京工业大学物理与光电工程学院 4.重庆师范大学重庆国家应用数学中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 彭雪芳,王涛,朱仁江,等. 基于四倍频的垂直外腔面发射深紫外激光器[J]. 中国激光,2024,52(06):128-135. |
| APA | 彭雪芳.,王涛.,朱仁江.,蒋丽丹.,佟存柱.,...&张鹏.(2024).基于四倍频的垂直外腔面发射深紫外激光器.中国激光,52(06),128-135. |
| MLA | 彭雪芳,et al."基于四倍频的垂直外腔面发射深紫外激光器".中国激光 52.06(2024):128-135. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 基于四倍频的垂直外腔面发射深紫外激光器.（1309KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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