Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 17.1 nm极紫外滤光片的制备 | |
牛筱茜; 缪鹏飞; 王瀚林; 王孝东 ; 陈波
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| 2023-01-25 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
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| 卷号 | 31期号:02页码:141-149 |
| 摘要 | 为了预警空间天气，需对日地空间物理过程进行监测，极紫外（Extreme Ultraviolet, EUV）滤光片是极紫外成像仪其中的重要组成部分，用来去除太阳辐射光谱中的非工作波段的辐射。为了优化EUV滤光片在17.1 nm波长处的透过率，本文基于比尔-朗伯定律通过理论计算和软件模拟确定17.1 nm EUV滤光片的材料及厚度。首先，采用真空热蒸发的方式在熔石英基底沉积脱膜层和金属薄膜，成功制备了以镍网为支撑的EUV滤光片。经测试，滤光片在17.1 nm处的透过率约为43.81%，表面光滑平整且无明显针孔。接下来为了说明氧化层对透过率的影响，使用椭圆偏振光谱仪测量滤光膜样品，得到放置不同时间的氧化层膜厚，并测得粗糙度来优化模拟滤光片透过率。利用IMD拟合样品氧化层厚度及粗糙度，调整层厚达到与实际测量值最为接近的曲线。实验结果表明滤光片透过率的模拟值与测量值绝对误差约1%，符合良好。本文为17.1 nm EUV滤光片提供了制备方法以及优化思路，在空间探测领域有重要应用价值。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/68529 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 作者单位 | 1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 2.中国科学院大学 3.上海卫星工程研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 牛筱茜,缪鹏飞,王瀚林,等. 17.1 nm极紫外滤光片的制备[J]. 光学精密工程,2023,31(02):141-149. |
| APA | 牛筱茜,缪鹏飞,王瀚林,王孝东,&陈波.(2023).17.1 nm极紫外滤光片的制备.光学精密工程,31(02),141-149. |
| MLA | 牛筱茜,et al."17.1 nm极紫外滤光片的制备".光学精密工程 31.02(2023):141-149. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 17.1 nm极紫外滤光片的制备.pdf（1471KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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