基于凹面光栅的可调高分辨率单色仪结构设计及波长重复性分析

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	基于凹面光栅的可调高分辨率单色仪结构设计及波长重复性分析
	陈建波 ; 杨小虎; 孙昱来 ; 李继峰 ; 林冠宇
	2023
发表期刊	仪器仪表学报
卷号	44 期号:02 页码:59-66
摘要	凹面光栅兼具成像和色散的能力，采用凹面光栅分光的单色仪能够很好实现小型化设计和应用到低于200 nm的真空紫外波段。光谱分辨率和波长重复性是单色仪的重要指标，针对单色仪的光谱分辨率，本文将光栅固有分辨率和由狭缝引起的增宽相结合推导出单色仪的光谱分辨率计算模型，利用自研微动狭缝进行实验验证，单色仪分辨率符合理论模型，极限分辨率优于0.1 nm;针对单色仪的波长重复性，在单色仪光机结构参数转换的基础上对波长重复性影响因素进行分析，推导出单色仪的波长重复性计算模型，利用汞灯作为光源进行波长重复性验证其波长重复性优于0.02 nm符合理论计算模型，验证了光机结构设计的有效性和理论分析的正确性。
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/68527
专题	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
作者单位	1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 2.中国科学院大学
推荐引用方式 GB/T 7714	陈建波,杨小虎,孙昱来,等. 基于凹面光栅的可调高分辨率单色仪结构设计及波长重复性分析[J]. 仪器仪表学报,2023,44(02):59-66.
APA	陈建波,杨小虎,孙昱来,李继峰,&林冠宇.(2023).基于凹面光栅的可调高分辨率单色仪结构设计及波长重复性分析.仪器仪表学报,44(02),59-66.
MLA	陈建波,et al."基于凹面光栅的可调高分辨率单色仪结构设计及波长重复性分析".仪器仪表学报 44.02(2023):59-66.

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基于凹面光栅的可调高分辨率单色仪结构设计（1142KB）	期刊论文	出版稿	开放获取	CC BY-NC-SA	浏览下载