Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 计算全息补偿检测自由曲面的高精度位姿测量 | |
李雯研; 程强 ; 曾雪锋; 李福坤; 薛栋林; 张学军
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| 2023-06-10 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
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| 卷号 | 31期号:11页码:1581-1592 |
| 摘要 | 为实现自由曲面的定位与位姿高精度测量，提出了“光学-机械”基准定位法，建立了位姿测量模型，并对该方法的定位误差和基准选择展开研究。根据三坐标测量机与计算全息提出了“光学-机械”基准定位法。然后，采用球形安装的回射器（Sphere Mounted Retroreflector,SMR）、猫眼、基准球作为基准，基于波像差理论与视差效应分别建立了3种基准的位姿测量模型，得到了位置误差与基准区域波前像差的函数关系，并对3种位姿测量模型进行对比。最后，对3种基准位姿测量方法进行仿真及实验验证，实测结果与模型的残差结果均小于0.05λ，相对误差均小于2.43%，验证了模型的准确性。实验结果表明，当检测距离为1 000 mm时，猫眼法的轴向定位误差为24μm；基准球法的轴向定位误差为50μm;SMR靶球法的轴向定位误差为16μm,X,Y方向的定位误差为1μm，滚转角定位误差为3.26″。SMR靶球法的定位误差最小、检测动态范围最大且检测光学元件的自由度最多，更适用于自由曲面的高精度位姿检测。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/68425 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 作者单位 | 1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 2.中国科学院大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李雯研,程强,曾雪锋,等. 计算全息补偿检测自由曲面的高精度位姿测量[J]. 光学精密工程,2023,31(11):1581-1592. |
| APA | 李雯研,程强,曾雪锋,李福坤,薛栋林,&张学军.(2023).计算全息补偿检测自由曲面的高精度位姿测量.光学精密工程,31(11),1581-1592. |
| MLA | 李雯研,et al."计算全息补偿检测自由曲面的高精度位姿测量".光学精密工程 31.11(2023):1581-1592. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 计算全息补偿检测自由曲面的高精度位姿测量（2900KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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