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基于条纹传感的大口径透镜检测方法
安其昌; 王鹍; 刘欣悦; 吴小霞; 李洪文; 王宝刚; 郭伟
2023-06-25
发表期刊光学精密工程
卷号31期号:12页码:1735-1740
摘要为实现大口径透镜组的高质量集成,亟需一套透射波前检测系统,其可实现米级跨度上的微米级精度检测。针对大口径透射波前质量检测难题,采用非窄带干涉与条纹跟踪相结合的方法,获得元件相对倾斜以及支撑结构所引入的系统波前变化。首先,基于光纤互联架构,设计了子孔径分时复用测系统;其次,建立了斜率测量与最终系统波前的映射关系,分析了斜率重建过程对不同空间频率波前的影响;最后,利用桌面实验系统,针对探测原理进行了验证测试,在测试波长1 550 nm时,干涉感知信噪比优于15 dB,测量范围优于5μm,探测精度优于0.5μm。本文所提出的方法可实现大口径透镜透射波前大范围、高鲁棒、高精度的检测,具有重要的意义,特别是对于未来大口径大视场望远镜的建设。
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/68412
专题中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
作者单位1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
2.吉林省智能波前传感与控制重点实验室
3.中国科学院大学
4.中国人民解放军95975部队
推荐引用方式
GB/T 7714
安其昌,王鹍,刘欣悦,等. 基于条纹传感的大口径透镜检测方法[J]. 光学精密工程,2023,31(12):1735-1740.
APA 安其昌.,王鹍.,刘欣悦.,吴小霞.,李洪文.,...&郭伟.(2023).基于条纹传感的大口径透镜检测方法.光学精密工程,31(12),1735-1740.
MLA 安其昌,et al."基于条纹传感的大口径透镜检测方法".光学精密工程 31.12(2023):1735-1740.
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