高陡度镜面干涉检测的仪器传递函数标定(特邀)

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	高陡度镜面干涉检测的仪器传递函数标定(特邀)
	蔡梦雪 ; 王孝坤; 张志宇; 李凌众 ; 王晶 ; 李文涵 ; 张学军
	2023-09-25
Source Publication	红外与激光工程
Volume	52 Issue:09 Pages:47-54
Abstract	由于仪器传递函数(Instrument Transfer Function, ITF)能准确反映仪器在空间频率上的响应特征，被广泛应用于仪器规范之中。目前多采用刻有单一台阶特征或不同周期正弦特征的平面测试板对干涉仪的ITF进行检测。针对平面测试板无法完成高陡度球面/非球面镜检测时ITF标定的问题，提出了根据球面台阶测试板标定高陡度镜面检测的子孔径拼接ITF的方法。通过超精密车削技术制作了球面台阶测试板，并对其进行拼接检测，根据梯度定位法和旋转矩阵完成检测孔径中台阶的定位及采样，利用傅里叶变换方法实现对台阶实测面形的功率谱密度求解，最后与理想面形功率谱密度做比获得ITF。对口径100 mm、曲率半径100 mm、带有同心圆环台阶结构的球面台阶测试板进行拼接检测以及数据分析，实验结果表明：在1 mm~(-1)的空间频率范围内，各个子孔径对高陡度镜面的检测水平平均可达到82.72%，具有较好的检测精度，随后ITF逐渐衰减，当空间频率在1.5 mm~(-1)左右时，仅能达到40%～60%。
Document Type	期刊论文
Identifier	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/68356
Collection	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Affiliation	1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 2.中国科学院大学 3.应用光学国家重点实验室 4.中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室
Recommended Citation GB/T 7714	蔡梦雪,王孝坤,张志宇,等. 高陡度镜面干涉检测的仪器传递函数标定(特邀)[J]. 红外与激光工程,2023,52(09):47-54.
APA	蔡梦雪.,王孝坤.,张志宇.,李凌众.,王晶.,...&张学军.(2023).高陡度镜面干涉检测的仪器传递函数标定(特邀).红外与激光工程,52(09),47-54.
MLA	蔡梦雪,et al."高陡度镜面干涉检测的仪器传递函数标定(特邀)".红外与激光工程 52.09(2023):47-54.

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高陡度镜面干涉检测的仪器传递函数标定(特（1754KB）	期刊论文	出版稿	开放获取	CC BY-NC-SA	View Download

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