Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 5G通信LWDM窄带滤光膜的研制 | |
| 张静; 刘海成; 付秀华; 王升耆; 王一博; 刘俊岐; 张天翔; 杨飞; 李刚 | |
| 2023-10-10 | |
| Source Publication | 中国激光
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| Volume | 50Issue:19Pages:69-77 |
| Abstract | 为了满足5G光通信对细波分复用（LWDM）窄带滤光膜的要求，笔者采用电子束与离子辅助沉积技术，在K9基底上镀制了高质量光通信滤光膜。提出了一种高精度调试膜厚均匀性与光谱一致性的方法，该方法通过对特殊膜系镀膜结果进行反演分析，能快速分析出Ta_2O_5和SiO_2两种材料光学厚度的误差，根据分析结果调节修正板，可以有效解决光学厚度匹配的问题，改善窄带滤光膜光谱。在镀制过程中采用光学直接监控法监控膜厚，对基板的实时光量值曲线进行拟合，根据拟合结果监控膜层厚度，同时采用晶控平均厚度法对耦合层与非规整膜层进行监控，提高了监控精度。最终制备的滤光膜在-0.2 dB处的带宽为4.1 nm，通带内最大插入损耗为0.14 dB，通带波纹为0.04 dB,-27 dB处带宽为6.0 nm，满足细波分复用窄带滤光膜的技术要求。 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/68352 |
| Collection | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| Affiliation | 1.长春理工大学光电工程学院 2.长春理工大学中山研究院 3.光驰科技(上海)有限公司 4.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 5.云南北方光学科技有限公司 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 张静,刘海成,付秀华,等. 5G通信LWDM窄带滤光膜的研制[J]. 中国激光,2023,50(19):69-77. |
| APA | 张静.,刘海成.,付秀华.,王升耆.,王一博.,...&李刚.(2023).5G通信LWDM窄带滤光膜的研制.中国激光,50(19),69-77. |
| MLA | 张静,et al."5G通信LWDM窄带滤光膜的研制".中国激光 50.19(2023):69-77. |
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| 5G通信LWDM窄带滤光膜的研制.pdf（1613KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Download | |
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