Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 5.2 W高重频257 nm深紫外皮秒激光器 | |
| 范灏然; 陈曦; 郑磊; 谢文侠; 季鑫; 郑权 | |
| 2023-11-15 | |
| 发表期刊 | 中国光学(中英文)
 |
| 卷号 | 16期号:06页码:1318-1323 |
| 摘要 | 为了提高半导体检测用深紫外激光器的检测效率，需要搭建高功率、高重频257 nm深紫外皮秒激光器实验平台。本文以光子晶体光纤放大器和腔外四倍频结构为基础，进行了257 nm深紫外激光器的实验研究。种子源采用中心波长为1 030 nm、脉冲宽度为50 ps的光纤激光器，输出功率为20 mW，重复频率为19.8 MHz。通过两级掺镱双包层（65μm/275μm）光子晶体光纤棒放大结构，获得了1 030 nm高功率基频光。利用二倍频晶体LBO、四倍频晶体BBO，采用腔外倍频方式获得了257 nm深紫外激光。种子源通过两级光子晶体光纤放大器输出的1 030 nm基频光，输出功率为86 W，经过激光聚焦系统后，倍频得到二次谐波515 nm激光输出功率为47.5 W，四次谐波257 nm深紫外激光输出功率为5.2 W，四次谐波转换效率为6.05%。实验结果表明，该结构可获得高功率257 nm深紫外激光输出，为提高半导体检测用激光器的检测效率提供了新思路。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/68328 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 作者单位 | 1.长春新产业光电技术有限公司 2.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 范灏然,陈曦,郑磊,等. 5.2 W高重频257 nm深紫外皮秒激光器[J]. 中国光学(中英文),2023,16(06):1318-1323. |
| APA | 范灏然,陈曦,郑磊,谢文侠,季鑫,&郑权.(2023).5.2 W高重频257 nm深紫外皮秒激光器.中国光学(中英文),16(06),1318-1323. |
| MLA | 范灏然,et al."5.2 W高重频257 nm深紫外皮秒激光器".中国光学(中英文) 16.06(2023):1318-1323. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 5.2 W高重频257 nm深紫外皮秒激（1994KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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