Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于差动共焦的倾角测量传感器 | |
| 王廷煜; 王之一; 杨永强; 糜小涛; 王建立; 姚凯男; 程雪 | |
| 2023-11-15 | |
| 发表期刊 | 液晶与显示
 |
| 卷号 | 38期号:11页码:1481-1489 |
| 摘要 | 为了解决传统激光差动共焦显微镜（LDCM）无法在测距的同时，进行高精度倾斜角度测量的问题，提出了一种基于差动共焦的倾角测量传感器。在对倾斜表面进行测量时，该传感器首先利用轴向扫描获取的差动响应信号精准定位其焦点位置，然后分析显微镜光瞳面场强分布并提取光斑图像的峰值位置，从而实现对倾角的精准测量。首先，建立聚焦光束经倾斜待测面反射后的光场分布模型，对不同倾斜角度下显微镜光瞳面的场强分布情况进行分析。然后，在分析倾斜光斑特征的基础上，提出了采用改进Meanshift算法进行光斑峰值位置提取的方法。最后，通过实验验证了传感器对倾角测量的有效性。实验结果表明，传感器对倾斜程度（0～8°）测量平均误差为0.011°，对倾斜方向（0～360°）的测量平均误差为0.128°，能够满足利用差动共焦非接触光学探针对三维表面进行检测的过程中，对待测表面倾斜角度测量的要求。该传感器为自由曲面的高精度轮廓测量提供了一种新的方法。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/68323 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 作者单位 | 1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 2.中国科学院大学 3.吉林省智能波前传感与控制重点实验室 4.中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 5.济南国科医工科技发展有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王廷煜,王之一,杨永强,等. 基于差动共焦的倾角测量传感器[J]. 液晶与显示,2023,38(11):1481-1489. |
| APA | 王廷煜.,王之一.,杨永强.,糜小涛.,王建立.,...&程雪.(2023).基于差动共焦的倾角测量传感器.液晶与显示,38(11),1481-1489. |
| MLA | 王廷煜,et al."基于差动共焦的倾角测量传感器".液晶与显示 38.11(2023):1481-1489. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 基于差动共焦的倾角测量传感器.pdf（1965KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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