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计算全息法标定单光楔补偿检测系统误差(英文)
蔡志华; 王孝坤; 胡海翔; 程强; 王若秋; 张海东
2022-01-15
发表期刊中国光学
卷号15期号:01页码:90-100
摘要单光楔补偿检测法具有良好的适用性、鲁棒性和灵活性,但是在检测光路中存在多种误差耦合,误差解耦困难,影响了单光楔补偿检测的精度和可信度。针对这一问题,本文提出一种计算全息法(Computer Generation Hologram,CGH)标定单光楔补偿检测光路系统误差的新方法。文中首先分析了单光楔补偿检测法系统误差的来源,并对CGH标定光楔补偿器的可行性进行了分析。结合工程实例,对口径为150 mm的单光楔补偿器设计了CGH,经分析可得CGH的标定精度为1.98 nm RMS,CGH标定后单光楔补偿检测精度为3.43 nm RMS,该精度能够满足大口径凸非球面反射镜的高精度检测要求。结果表明:CGH可以准确标定单光楔补偿器的位姿和检测光路的系统误差,解决了检测光路中误差解耦困难的问题,提高了单光楔补偿检测的准确性和可靠性。使用CGH标定得到Tap#2和Tap#3的检测光路系统误差分别为0.023λRMS和0.011λRMS。
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/66274
专题中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
作者单位1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
2.中国科学院大学
推荐引用方式
GB/T 7714
蔡志华,王孝坤,胡海翔,等. 计算全息法标定单光楔补偿检测系统误差(英文)[J]. 中国光学,2022,15(01):90-100.
APA 蔡志华,王孝坤,胡海翔,程强,王若秋,&张海东.(2022).计算全息法标定单光楔补偿检测系统误差(英文).中国光学,15(01),90-100.
MLA 蔡志华,et al."计算全息法标定单光楔补偿检测系统误差(英文)".中国光学 15.01(2022):90-100.
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