Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于条纹式转盘的共聚焦三维形貌测量技术 | |
| 郝梦凡; 李备 | |
| 2022-04-20 | |
| 发表期刊 | 工具技术
 |
| 卷号 | 56期号:04页码:110-113 |
| 摘要 | 由于共聚焦显微镜的光学切片特性，可通过三维测量采集工业表面缺陷和粗糙度等信息，因此在表面计量领域有着广泛的应用和研究价值。本文结合孔径相关技术和加权最小二乘拟合及迭代算法，低成本地搭建了条纹转盘共聚焦测量系统，其测量速度比商用共聚焦系统快约38%。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/66255 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 作者单位 | 1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 2.中国科学院大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郝梦凡,李备. 基于条纹式转盘的共聚焦三维形貌测量技术[J]. 工具技术,2022,56(04):110-113. |
| APA | 郝梦凡,&李备.(2022).基于条纹式转盘的共聚焦三维形貌测量技术.工具技术,56(04),110-113. |
| MLA | 郝梦凡,et al."基于条纹式转盘的共聚焦三维形貌测量技术".工具技术 56.04(2022):110-113. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 基于条纹式转盘的共聚焦三维形貌测量技术.（408KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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