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基于条纹式转盘的共聚焦三维形貌测量技术
郝梦凡; 李备
2022-04-20
发表期刊工具技术
卷号56期号:04页码:110-113
摘要由于共聚焦显微镜的光学切片特性,可通过三维测量采集工业表面缺陷和粗糙度等信息,因此在表面计量领域有着广泛的应用和研究价值。本文结合孔径相关技术和加权最小二乘拟合及迭代算法,低成本地搭建了条纹转盘共聚焦测量系统,其测量速度比商用共聚焦系统快约38%。
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/66255
专题中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
作者单位1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
2.中国科学院大学
推荐引用方式
GB/T 7714
郝梦凡,李备. 基于条纹式转盘的共聚焦三维形貌测量技术[J]. 工具技术,2022,56(04):110-113.
APA 郝梦凡,&李备.(2022).基于条纹式转盘的共聚焦三维形貌测量技术.工具技术,56(04),110-113.
MLA 郝梦凡,et al."基于条纹式转盘的共聚焦三维形貌测量技术".工具技术 56.04(2022):110-113.
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