Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 夏克哈特曼扫描拼接检测平面镜(特邀) | |
王晶; 王孝坤 ; 胡海翔; 李凌众; 苏航
| |
| 2021 | |
| 发表期刊 | 红外与激光工程
 |
| 卷号 | 50期号:10页码:67-73 |
| 摘要 | 随着先进光学系统设计与制造的发展,大口径光学系统得到了广泛的应用。然而,大口径平面镜高精度面形的检测手段不足,限制了大口径平面镜的制造与应用。为实现大口径平面反射镜的高精度面形检测,提出一种夏克哈特曼扫描拼接检测平面镜面形的方法。对扫描拼接原理、波前重构算法进行了研究,建立了微透镜阵列成像的数学模型,验证了夏克哈特曼扫描拼接检测原理的可行性。针对一口径为150 mm的平面镜进行了扫描拼接检测实验,拼接得到的全口径面形为0.019λRMS(λ=635 nm);与干涉检测结果对比,检测精度为0.008λRMS,结果表明该方法能够实现大口径平面反射镜的高精度检测。 |
| URL | 查看原文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/66113 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 作者单位 | 1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 2.中国科学院大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王晶,王孝坤,胡海翔,等. 夏克哈特曼扫描拼接检测平面镜(特邀)[J]. 红外与激光工程,2021,50(10):67-73. |
| APA | 王晶,王孝坤,胡海翔,李凌众,&苏航.(2021).夏克哈特曼扫描拼接检测平面镜(特邀).红外与激光工程,50(10),67-73. |
| MLA | 王晶,et al."夏克哈特曼扫描拼接检测平面镜(特邀)".红外与激光工程 50.10(2021):67-73. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 夏克哈特曼扫描拼接检测平面镜(特邀).p（1973KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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