Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 模压硫系玻璃元件红外增透膜的研制 | |
付秀华; 王海峰 ; 张静; 张功; 任仲举; 周笑平; 杨飞
| |
| 2021-10-25 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 卷号 | 41期号:20页码:238-247 |
| 摘要 | 为满足红外探测系统无热化、高质量成像的需求,在非球面硫系玻璃基底制备3.7～4.8μm波段增透膜。根据试验要求选取黏结层材料,提高基板与薄膜之间的附着力;利用有限元分析法通过多物理场仿真软件,将温度场与热应力场相结合建立三维模型,分析非球面薄膜的应力分布情况。根据模拟结果对沉积工艺进行优化,采用温度梯度烘烤法降低硫系玻璃基底的热应力,并采用真空原位退火法释放沉积薄膜的应力,解决非球面镜的脱膜问题。所制备的薄膜可以通过MIL-C-48497A标准中的附着力、湿度、中度摩擦等测试,并在3.7～4.8μm波段的平均透过率为99.12%,满足红外探测系统的指标要求。 |
| URL | 查看原文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/66096 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 作者单位 | 1.长春理工大学光电工程学院 2.长春理工大学机电工程学院 3.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 付秀华,王海峰,张静,等. 模压硫系玻璃元件红外增透膜的研制[J]. 光学学报,2021,41(20):238-247. |
| APA | 付秀华.,王海峰.,张静.,张功.,任仲举.,...&杨飞.(2021).模压硫系玻璃元件红外增透膜的研制.光学学报,41(20),238-247. |
| MLA | 付秀华,et al."模压硫系玻璃元件红外增透膜的研制".光学学报 41.20(2021):238-247. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 模压硫系玻璃元件红外增透膜的研制.pdf（2672KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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