Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 非零位拼接检测凸非球面金属反射镜 | |
蔡志华; 王孝坤 ; 胡海翔; 曾雪锋; 王晶
| |
| 2021 | |
| 发表期刊 | 红外与激光工程
 |
| 卷号 | 50期号:11页码:278-283 |
| 摘要 | 随着单点金刚石车削技术和抛光技术的发展,实现了金属反射镜的快速高效低成本制造。然而,金属反射镜的检测手段存在明显不足,尤其是没有一种快速、高效的检测手段用于检测凸非球面金属反射镜。为提高凸非球面金属反射镜的检测效率,提出一种非零位拼接检测凸非球面金属反射镜的检测方法。结合工程实例,对口径为120 mm,顶点曲率半径R为1 121.586 mm,二次曲线常数K为-2.38的凸非球面金属反射镜进行了拼接检测实验,拼接所得面形误差均方根值(RMS)为0.016λ(λ=632.8 nm)。与Luphoscan检测结果对比,验证了非零位拼接检测方法的检测精度RMS为0.007λ,结果表明该方法能够实现凸非球面金属反射镜的快速、高效检测。 |
| URL | 查看原文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/65995 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 作者单位 | 1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 2.中国科学院大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 蔡志华,王孝坤,胡海翔,等. 非零位拼接检测凸非球面金属反射镜[J]. 红外与激光工程,2021,50(11):278-283. |
| APA | 蔡志华,王孝坤,胡海翔,曾雪锋,&王晶.(2021).非零位拼接检测凸非球面金属反射镜.红外与激光工程,50(11),278-283. |
| MLA | 蔡志华,et al."非零位拼接检测凸非球面金属反射镜".红外与激光工程 50.11(2021):278-283. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 非零位拼接检测凸非球面金属反射镜.pdf（2297KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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