Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 大口径矩形碳化硅扫描反射镜组件研制技术 | |
| 李延伟; 张景国; 谢新旺; 陈太喜; 董雷岗 | |
| 2021 | |
| 发表期刊 | 激光与光电子学进展
 |
| 页码 | 14 |
| 摘要 | 为减轻大尺寸矩形扫描反射镜（740mm×480mm）重量并保证反射镜面形精度，采用二维等效刚度模型与三维等效刚度模型结合的方法，设计了背部开口、三角形轻量化孔为主、轻量化率为81.4%的轻量化结构。基于球头万向节与柔性铰链原理，设计了两种背部三点支撑方式的扫描反射镜组件。有限元分析结果表明，在Y向重力及40℃均匀温差耦合工况下，球头万向节、柔性铰链支撑方式的反射镜面形误差RMS值分别为12.3nm和12.9nm；一阶固有频率分别为68.1Hz和85.5Hz；两种支撑方式的面形误差均能满足≤1/40λ的光学要求；但柔性铰链结构形式具有更好结构刚度。采用自准直法对扫描反射镜组件的面形误差进行了测量。测量结果表明，面形误差RMS值为0.025λ，满足研制需求，可为大口径矩形扫描反射镜组件的研制提供参考依据。 |
| URL | 查看原文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/65970 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 作者单位 | 1.季华实验室 2.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李延伟,张景国,谢新旺,等. 大口径矩形碳化硅扫描反射镜组件研制技术[J]. 激光与光电子学进展,2021:14. |
| APA | 李延伟,张景国,谢新旺,陈太喜,&董雷岗.(2021).大口径矩形碳化硅扫描反射镜组件研制技术.激光与光电子学进展,14. |
| MLA | 李延伟,et al."大口径矩形碳化硅扫描反射镜组件研制技术".激光与光电子学进展 (2021):14. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 大口径矩形碳化硅扫描反射镜组件研制技术.（1563KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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