Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 超宽谱段高分辨率中阶梯光栅光谱仪的光学设计 | |
| 孙慈; 杨晋; 朱继伟; 马婷婷; 冯树龙; 宋楠; 郭雪强; 郭汉洲 | |
| 2021-01-15 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 卷号 | 29期号:01页码:45-53 |
| 摘要 | 为了实现超宽谱段与高分辨率特点兼具的中阶梯光栅光谱仪系统,提出了一种光路结构设计,并针对其深紫外波段的有效探测方法进行了研究及验证。该光路结构结合准Littrow结构与C-T结构的优势,保证了色散光路具备高衍射效率,同时很好地抑制了杂散光。在有限可选光学材料下,采用多重评价优化方式获得中阶梯光栅光谱仪的光学结构参数。通过加入由球透镜及柱透镜组成的校正结构,有效地校正了像差,提高了光谱分辨率。最后,针对深紫外波段探测的解决方案进行模态分析,验证了所设计方案的可行性。最终在160～1 000 nm的超宽波段范围内,成像光斑的RMS值优于12.1μm,在257.61 nm处的光谱分辨率优于0.009 nm,能够满足超宽谱段、高分辨率检测系统的色散分光需求。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/65965 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 作者单位 | 1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 2.长春长光格瑞光电技术有限公司 3.长春国科医工科技发展有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙慈,杨晋,朱继伟,等. 超宽谱段高分辨率中阶梯光栅光谱仪的光学设计[J]. 光学精密工程,2021,29(01):45-53. |
| APA | 孙慈.,杨晋.,朱继伟.,马婷婷.,冯树龙.,...&郭汉洲.(2021).超宽谱段高分辨率中阶梯光栅光谱仪的光学设计.光学精密工程,29(01),45-53. |
| MLA | 孙慈,et al."超宽谱段高分辨率中阶梯光栅光谱仪的光学设计".光学精密工程 29.01(2021):45-53. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 超宽谱段高分辨率中阶梯光栅光谱仪的光学设（1760KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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