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表面亚波长周期结构的飞秒激光调控制备
赵波; 郑昕; 邹婷婷; 谢洪波; 辛巍; 杨建军; 郭春雷
2020
发表期刊激光与光电子学进展
卷号57期号:11页码:53-68
摘要飞秒激光在材料表面诱导产生亚波长周期结构不仅可以改变材料表面的物化性质,而且具有无掩模制作和一步成型等优点,在多个领域具有广阔的应用前景。然而,目前结构形成存在排列规整性差、形状单一、制备效率低等问题。为此,综述了单束飞秒激光在金属表面高效制备规整性一维亚波长周期结构的研究进展,提出了利用时间延迟多束飞秒激光对金属和半导体表面一维亚波长周期结构产生特征(包括规整性、空间周期、排列方向等)进行灵活调控的新方法,成功实现了形貌特征分别为圆包、三角形、菱形、椭圆状、条纹-纳米颗粒复合等多种二维亚波长周期结构的制备,发现了表面结构调控产生过程中出现的超快物理新现象,阐明了时间延迟飞秒激光束与材料作用过程之间的瞬态关联作用。
关键词激光光学 飞秒激光 表面周期结构 时间延迟 金属 半导体 超快动力学
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文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/64002
专题中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
作者单位1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
2.长治学院电子信息与物理系
推荐引用方式
GB/T 7714
赵波,郑昕,邹婷婷,等. 表面亚波长周期结构的飞秒激光调控制备[J]. 激光与光电子学进展,2020,57(11):53-68.
APA 赵波.,郑昕.,邹婷婷.,谢洪波.,辛巍.,...&郭春雷.(2020).表面亚波长周期结构的飞秒激光调控制备.激光与光电子学进展,57(11),53-68.
MLA 赵波,et al."表面亚波长周期结构的飞秒激光调控制备".激光与光电子学进展 57.11(2020):53-68.
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