Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| AlGaN基宽禁带半导体光电材料与器件 | |
贲建伟; 孙晓娟 ; 蒋科; 陈洋; 石芝铭; 臧行; 张山丽; 黎大兵; 吕威
| |
| 2020-11-15 | |
| 发表期刊 | 人工晶体学报
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| 卷号 | 49期号:11页码:2046-2067 |
| 摘要 | AlGaN基材料是带隙可调的直接带隙宽禁带半导体材料,是制备紫外(UV)光电子器件的理想材料。经过数十年的研究,目前已经在异质衬底外延生长AlGaN基材料、高效掺杂等方面取得了巨大进展。以此为基础,AlGaN基紫外光电器件制备领域也得到长足发展。在本综述中,主要介绍了高质量AlGaN基材料的MOCVD外延生长方法、掺杂方法以及近年来在紫外发光、紫外探测器件方面取得的进展。 |
| 关键词 | AlGaN基材料 外延生长 掺杂 紫外发光器件 紫外探测 |
| URL | 查看原文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/63982 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 作者单位 | 1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 2.中国科学院大学材料与光电研究中心 3.长春工业大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 贲建伟,孙晓娟,蒋科,等. AlGaN基宽禁带半导体光电材料与器件[J]. 人工晶体学报,2020,49(11):2046-2067. |
| APA | 贲建伟.,孙晓娟.,蒋科.,陈洋.,石芝铭.,...&吕威.(2020).AlGaN基宽禁带半导体光电材料与器件.人工晶体学报,49(11),2046-2067. |
| MLA | 贲建伟,et al."AlGaN基宽禁带半导体光电材料与器件".人工晶体学报 49.11(2020):2046-2067. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| AlGaN基宽禁带半导体光电材料与器件.（4280KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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