X射线散射法测量Wolter-I型掠入射望远镜的表面粗糙度（英文）

	X射线散射法测量Wolter-I型掠入射望远镜的表面粗糙度（英文）
	张亚超; 刘鹏; 王晓光; 何玲平; 陈波
	2019
发表期刊	中国光学
卷号	12 期号:03 页码:587-595
摘要	研究X射线散射法在软X射线掠入射望远镜反射镜的表面粗糙度测量中的应用。首先,在光滑表面近似和细光束条件下,根据Harvey-Shack表面散射理论得出反射镜的面形仅影响总反射光分布中的镜向部分,对散射部分的影响可以忽略不计;然后设计了X射线散射法测量Wolter-I型软X射线掠入射望远镜的表面粗糙度的实验方案,并且对引起系统误差的主要因素进行了分析,确定了进行仿真实验时的参数;最后用Zemax对实验方案进行了仿真。在空间频率高于28/mm时,表面粗糙度的仿真测量结果与真值吻合得非常好。本文研究结果显示:在光滑表面近似和细光束条件下,反射镜的面形仅影响表面粗糙度的低频部分的测量准确性,对高频部分测量准确性的影响可以忽略不计,利用X射线散射法可以准确测量软X射线掠入射望远镜的表面粗糙度。
关键词	表面散射粗糙度功率谱密度掠入射望远镜
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/63644
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	张亚超,刘鹏,王晓光,等. X射线散射法测量Wolter-I型掠入射望远镜的表面粗糙度（英文）[J]. 中国光学,2019,12(03):587-595.
APA	张亚超,刘鹏,王晓光,何玲平,&陈波.(2019).X射线散射法测量Wolter-I型掠入射望远镜的表面粗糙度（英文）.中国光学,12(03),587-595.
MLA	张亚超,et al."X射线散射法测量Wolter-I型掠入射望远镜的表面粗糙度（英文）".中国光学 12.03(2019):587-595.

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X射线散射法测量WolterI型掠入射望（2142KB）	期刊论文	出版稿	开放获取	CC BY-NC-SA	浏览下载