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离心熔铸非球面镜镜胚面形偏差工艺参数的敏感性研究
张心明; 徐鑫莉; 蔡鹏; 于阳; 赵立新
2018
发表期刊光学精密工程
期号07页码:1719-1727
摘要离心熔铸技术在大口径非球面镜镜胚的制造方面具有独特优势。本文通过自行研制的缩比模型实验机进行试验,深入研究了离心熔铸工艺及成型镜胚质量,详细介绍了模具涂层的制备、离心熔铸的加热及冷却等工艺过程,制备了非球面镜镜胚模型。采用数值模拟与试验研究相结合的方法,对所得镜胚面形偏差工艺参数的敏感性进行了研究。分析了模具的热膨胀系数、镜胚冷却速率、直径及加热温度对面形偏差的影响,得到了偏差工艺参数的敏感性规律。通过对面形偏差进行两次迭代补偿,面形偏差值从-84μm降到33μm,补偿后的结果满足设计要求。采用离心熔铸技术,可以制备满足上表面垂直偏差在30~40μm范围内的非球面镜镜胚。
关键词离心熔铸 非球面镜镜胚 工艺 面形偏差 迭代补偿
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/61437
专题中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
张心明,徐鑫莉,蔡鹏,等. 离心熔铸非球面镜镜胚面形偏差工艺参数的敏感性研究[J]. 光学精密工程,2018(07):1719-1727.
APA 张心明,徐鑫莉,蔡鹏,于阳,&赵立新.(2018).离心熔铸非球面镜镜胚面形偏差工艺参数的敏感性研究.光学精密工程(07),1719-1727.
MLA 张心明,et al."离心熔铸非球面镜镜胚面形偏差工艺参数的敏感性研究".光学精密工程 .07(2018):1719-1727.
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