Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 | |
张璐; 向阳
| |
| 2018 | |
| 发表期刊 | 中国激光
 |
| 期号 | 08页码:175-180 |
| 摘要 | 针对光栅横向剪切干涉仪研究了旋转绝对检测的方法,并用前36项Zernike多项式标定出剪切装置的系统误差非对称项。研究结果表明,将面形检测的绝对算法应用于检测镜头系统波像差,在干涉仪系统误差消除后可以达到相对理想的检测精度。实验数据的重复性的均方根可以达到0.14nm。 |
| 关键词 | 测量 光刻镜头 绝对检测 光栅横向剪切干涉仪 系统波像差 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/61315 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张璐,向阳. 光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法[J]. 中国激光,2018(08):175-180. |
| APA | 张璐,&向阳.(2018).光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法.中国激光(08),175-180. |
| MLA | 张璐,et al."光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法".中国激光 .08(2018):175-180. |
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