Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 大口径非球面系统的共基准加工与检验 | |
王孝坤 ; 薛栋林; 张学军
| |
| 2018 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 04页码:743-748 |
| 摘要 | 针对大口径离轴非球面系统加工与装调的难点,提出了非球面光学系统共基准加工与检测的方法,对该方法的基本原理和实现过程进行了分析和研究。当光学系统的主镜和第三镜面形的RMS值优于λ/10(λ=632.8nm)时,对主镜和第三镜进行共基准装调和测试,并进行背板一体化装嵌,然后利用离子束对其进行一体化共基准加工。结合工程实例,对一大口径非球面系统口径为724mm×247mm的非球面主镜和口径为632mm×205mm的第三镜进行了共基准加工与检测,最终利用离子束共基准一体化精抛光得到主镜和第三镜面形的RMS值分别为0.019λ和0.017λ,满足光学成像。 |
| 关键词 | 光学加工 光学检测 非球面 三镜消像散系统 共基准 离子束加工 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/61262 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王孝坤,薛栋林,张学军. 大口径非球面系统的共基准加工与检验[J]. 光学精密工程,2018(04):743-748. |
| APA | 王孝坤,薛栋林,&张学军.(2018).大口径非球面系统的共基准加工与检验.光学精密工程(04),743-748. |
| MLA | 王孝坤,et al."大口径非球面系统的共基准加工与检验".光学精密工程 .04(2018):743-748. |
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