不同气压环境对飞秒激光在铬膜表面诱导周期性条纹结构的影响

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	不同气压环境对飞秒激光在铬膜表面诱导周期性条纹结构的影响
	刘琦; 张楠; 杨建军
	2018
发表期刊	光子学报
期号	07 页码:45-51
摘要	实验研究了蓝色飞秒激光(1kHz,50fs,400nm)在105 Pa(标准气压)和10-3 Pa两种不同气压环境下,在单晶硅衬底的金属铬膜表面形成亚波长(~250nm)一维周期性条纹结构的情况,分析比较了入射激光能流、样品扫描速度、样品薄膜厚度等参数对表面条纹结构的影响.结果表明,10-3 Pa的真空环境可以有效改善铬膜表面亚波长条纹结构的形成质量;随着铬膜厚度的减小(100~25nm),表面条纹质量逐渐提高,但当铬膜太薄(≤25nm)时材料表面易出现烧蚀不均匀现象;另外,随着飞秒激光能流密度的降低或扫描速度的增大,条纹结构的空间周期将会减小,此时条纹之间的沟槽内逐渐出现纳米线分布.
关键词	超快激光亚波长结构超快激光加工薄膜真空环境
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/61248
专题	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	刘琦,张楠,杨建军. 不同气压环境对飞秒激光在铬膜表面诱导周期性条纹结构的影响[J]. 光子学报,2018(07):45-51.
APA	刘琦,张楠,&杨建军.(2018).不同气压环境对飞秒激光在铬膜表面诱导周期性条纹结构的影响.光子学报(07),45-51.
MLA	刘琦,et al."不同气压环境对飞秒激光在铬膜表面诱导周期性条纹结构的影响".光子学报 .07(2018):45-51.