Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 摆臂式轮廓测量不同母线条数的敏感性分析 | |
熊玲; 罗霄 ; 戚二辉; 张峰; 薛栋林; 张学军
| |
| 2018 | |
| 发表期刊 | 红外与激光工程
 |
| 期号 | 02页码:248-253 |
| 摘要 | 为了确定摆臂式轮廓检测大口径离轴非球面采用不同扫描线数时系统检测误差的敏感性,文中提出采用蒙特卡洛方法,建立了仿真分析的模型。对母线条数分别为8~120条的模式进行模拟检测,对系统噪声引入的面形误差进行Zernike多项式项拟合,统计分析得母线条数为8~39条时,系统噪声引入的低阶项检测误差随母线条数的增加而迅速降低;母线条数为40~70条时,引入低阶项检测误差降低缓慢;71~120条时,引入的低阶项检测误差几乎保持不变。结合实例,对一口径1 500 mm的离轴非球面反射镜进行实验,分别采用36条、72条和96条母线进行面形检测。36条母线检测误差相对较大,检测结果为7.73μm PV和0.68μm RMS;72条母线和96条母线检测结果十分接近,分别为5.755μm PV,0.568μm RMS和5.612μm PV,0.569μm RMS。验证了仿真分析结果的准确性,为摆臂式轮廓检测大口径离轴非球面中母线条数的优化选择提供了理论指导。 |
| 关键词 | 大口径 离轴非球面 摆臂式轮廓检测 仿真分析 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/61244 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 熊玲,罗霄,戚二辉,等. 摆臂式轮廓测量不同母线条数的敏感性分析[J]. 红外与激光工程,2018(02):248-253. |
| APA | 熊玲,罗霄,戚二辉,张峰,薛栋林,&张学军.(2018).摆臂式轮廓测量不同母线条数的敏感性分析.红外与激光工程(02),248-253. |
| MLA | 熊玲,et al."摆臂式轮廓测量不同母线条数的敏感性分析".红外与激光工程 .02(2018):248-253. |
| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [熊玲]的文章 |
| [罗霄]的文章 |
| [戚二辉]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [熊玲]的文章 |
| [罗霄]的文章 |
| [戚二辉]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [熊玲]的文章 |
| [罗霄]的文章 |
| [戚二辉]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论