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Bipod反射镜支撑结构的柔度计算及分析
李钰鹏; 王智; 沙巍; 贺帅; 吴清文
2018
发表期刊光学精密工程
期号07页码:1691-1697
摘要为了改善反射镜在环境温度波动情况下的面形精度下降问题,设计了一种联杆型双轴Bipod柔性支撑结构,并基于柔度理论对它进行了参量优化。首先,对支撑结构的柔度进行了分析和计算,推导出柔性支腿以及反射镜组件的柔度理论公式。然后,以保证反射镜轴向支撑刚度和卸载能力为目的,计算得到一组针对口径为200mm反射镜的柔性支撑结构尺寸参数。最后,通过有限元分析和振动试验,对支撑结构的柔度公式、动态特性、温度适应性进行了分析验证。分析结果显示,在一定作用力下,柔性支腿的理论值与有限元分析值的误差在10%以内;振动试验得到组件的一阶频率为358.5Hz,与理论计算值的相对误差为8.8%;在20℃温差下,反射镜面形精度为7.7nm(rms)。试验结果验证了理论模型的有效性,同时说明Bipod柔性支撑结构能够降低温度波动对反射镜面形的影响。
关键词柔性支撑 Bipod 反射镜 面形精度 柔度
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/61236
专题中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
李钰鹏,王智,沙巍,等. Bipod反射镜支撑结构的柔度计算及分析[J]. 光学精密工程,2018(07):1691-1697.
APA 李钰鹏,王智,沙巍,贺帅,&吴清文.(2018).Bipod反射镜支撑结构的柔度计算及分析.光学精密工程(07),1691-1697.
MLA 李钰鹏,et al."Bipod反射镜支撑结构的柔度计算及分析".光学精密工程 .07(2018):1691-1697.
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