Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 | |
宋源; 卢启鹏 ; 龚学鹏; 王依; 彭忠琦
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| 2017-11-15 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
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| 页码 | 2835-2844 |
| 摘要 | 针对极紫外(EUV)光刻机工作过程中,多层膜反射镜表面沉积碳污染造成的反射率下降问题展开研究,讨论了多层膜反射镜表面碳污染清洗方法。首先描述了在EUV曝光过程中多层膜表面的碳污染形成过程,简单阐述了碳污染对多层膜反射镜的危害。然后从清洗机理、速率以及效果等方面详细描述了多种EUV多层膜表面碳污染清洗方法,分析对比了各清洗技术在清洗速率和效果等方面的优缺点。分析表明:离子体氧和活化氧清洗速率相差不多,可达到2nm/min,但清洗过程中容易造成表面氧化;等离子体氢和原子氢的清洗速率相对较慢,一般在0.37nm/min左右,但清洗过程中不易产生氧化。最后针对不同方法应用于在线清洗EUV多层膜反射镜过程中将遇到的问题和难点进行了讨论。 |
| 关键词 | 极紫外光刻机 碳污染 清洗技术 多层膜反射镜 |
| DOI | 8C85F7EFB787CC68F89DED4B0F476AAF |
| 语种 | 中文 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58785 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋源,卢启鹏,龚学鹏,等. 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗[J]. 光学精密工程,2017:2835-2844. |
| APA | 宋源,卢启鹏,龚学鹏,王依,&彭忠琦.(2017).极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗.光学精密工程,2835-2844. |
| MLA | 宋源,et al."极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗".光学精密工程 (2017):2835-2844. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗（411KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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