Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 米级弯月面化学薄膜涂覆装备的研制 | |
徐佳; 许文斌 ; 卜和阳; 卢振武; 刘正坤; 洪义麟; 鱼卫星
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| 2017-01-15 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
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| 页码 | 133-140 |
| 摘要 | 弯月面化学涂膜技术因其具有大面积、低成本以及高效率等优势成为继旋涂、喷涂等传统涂膜工艺后极具发展潜力的新型化学薄膜涂覆技术。本文针对国家某重大项目对米级光学元件表面的化学薄膜涂覆需求,对基于弯月面涂胶的技术原理进行了系统研究,分析了涂胶压强、基片和狭缝间距以及材料亲疏水性与涂胶面形态的关系,实现了对弯月液面的精密调控并研制出基于弯月面化学薄膜涂覆技术的装备,在1 400mm×420mm尺寸玻璃基片上实现了光刻胶的均匀涂覆,使整体胶膜厚度误差<4%,满足了米级元件表面精密化学薄膜的涂覆需求。 |
| 关键词 | 弯月面 大面积 涂胶 液面调控 光学元件 |
| DOI | B95D6C0545B9DDBE5168A169460F9A43 |
| 语种 | 中文 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58722 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐佳,许文斌,卜和阳,等. 米级弯月面化学薄膜涂覆装备的研制[J]. 光学精密工程,2017:133-140. |
| APA | 徐佳.,许文斌.,卜和阳.,卢振武.,刘正坤.,...&鱼卫星.(2017).米级弯月面化学薄膜涂覆装备的研制.光学精密工程,133-140. |
| MLA | 徐佳,et al."米级弯月面化学薄膜涂覆装备的研制".光学精密工程 (2017):133-140. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 米级弯月面化学薄膜涂覆装备的研制.caj（457KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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