Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 用于空间望远镜的大口径高衍射效率薄膜菲涅尔衍射元件 | |
王若秋; 张志宇 ; 薛栋林; 张学军
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| 2017-09-25 | |
| 发表期刊 | 红外与激光工程
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| 页码 | 123-130 |
| 摘要 | 为满足空间成像领域对大口径、轻量化、高衍射效率光学衍射元件的需求,研究了薄膜衍射元件微结构设计及制作工艺。应用Zemax光学软件设计了320 mm口径,F/#100的四台阶薄膜菲涅尔衍射元件,并利用Matlab软件将连续位相结构转化为离散化台阶分布。研究了薄膜菲涅尔衍射元件的制作技术,选用透明聚酰亚胺薄膜作为基底材料,以石英玻璃作为复制模板,通过多次旋涂的方式实现了厚度为20μm的衍射薄膜制作。应用Solidworks软件设计并加工薄膜支撑装置。测量复制基板及薄膜对应区域的微结构,实验结果表明条纹线宽转移偏差小于1.3%,台阶深度偏差小于8.6%。搭建光路测试在波长632.8 nm处衍射效率平均值为71.5%,达到了理论值的88%。实验结果表明,制作的薄膜重量轻,复制精度高,并且具有高衍射效率,满足空间望远镜的应用要求。 |
| 关键词 | 大口径 菲涅尔衍射元件 聚合物薄膜 聚酰亚胺 衍射效率 |
| DOI | E1C6EAFAC117BABD6D2A5291A2682FBE |
| 语种 | 中文 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58706 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王若秋,张志宇,薛栋林,等. 用于空间望远镜的大口径高衍射效率薄膜菲涅尔衍射元件[J]. 红外与激光工程,2017:123-130. |
| APA | 王若秋,张志宇,薛栋林,&张学军.(2017).用于空间望远镜的大口径高衍射效率薄膜菲涅尔衍射元件.红外与激光工程,123-130. |
| MLA | 王若秋,et al."用于空间望远镜的大口径高衍射效率薄膜菲涅尔衍射元件".红外与激光工程 (2017):123-130. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 用于空间望远镜的大口径高衍射效率薄膜菲涅（1775KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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