Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 4m口径SiC反射镜原位检测用静压支撑系统 | |
胡海飞 ; 赵宏伟; 刘振宇; 罗霄; 张学军
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| 2017-10-15 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
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| 页码 | 2607-2613 |
| 摘要 | 研制了一套用于4m SiC反射镜原位检测的静压支撑系统,以降低超大口径SiC反射镜离线检测的风险,提高其制造效率。首先,推导了单元刚度的解析式,确定了其中关键因素;然后,对支撑单元进行抽样测试,结合解析式预测了支撑群组中单元的工作刚度。最后,通过密封性测试和反射镜原位检测,验证了支撑系统的稳定性;通过有限元模拟,计算了系统的重力卸载面形精度。结果表明:5个单元连组时,单元刚度约为1.9kN/mm,刚度值分布在±3%误差区间;独立单元刚度可高至15kN/mm;3种分组单元刚度预测值分别为1.7,1.1和0.8kN/mm。支撑系统空载时管路压强变化缓慢,表明密封性良好;用该系统支撑4m反射镜时,11天内高度绝对变化量小于50μm,相对变化量小于20μm。54个单元刚度随机分布时,镜面面形高阶残差(RMS)为20nm。提出的系统基本满足原位检测的稳定性和精度要求。 |
| 关键词 | 超大sic反射镜 原位光学检测 静压支撑系统 刚度差异 面形精度 |
| DOI | 646703BEF90129B4973235EFBE385097 |
| 语种 | 中文 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58688 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 胡海飞,赵宏伟,刘振宇,等. 4m口径SiC反射镜原位检测用静压支撑系统[J]. 光学精密工程,2017:2607-2613. |
| APA | 胡海飞,赵宏伟,刘振宇,罗霄,&张学军.(2017).4m口径SiC反射镜原位检测用静压支撑系统.光学精密工程,2607-2613. |
| MLA | 胡海飞,et al."4m口径SiC反射镜原位检测用静压支撑系统".光学精密工程 (2017):2607-2613. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 4m口径SiC反射镜原位检测用静压支撑系（421KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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