Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定 | |
| 宋莹; 赵旭龙; 姜岩秀; 巴音贺希格; 齐向东 | |
| 2017 | |
| 发表期刊 | 中国激光
 |
| 页码 | 233-240 |
| 摘要 | 为了提高全息光栅曝光系统的曝光对比度,抑制外部环境变化引起的曝光干涉条纹漂移,提出了一种移栅型干涉条纹锁定方法。采用分束光栅实现光源激光的分光及干涉条纹的相位调整。通过叠栅条纹间接测量干涉条纹相位变化,给出了双光电探测器的最佳探测位置。结合分光及相位调整功能,给出了分束光栅参数的设计方法。针对光栅曝光特点设计了控制器。从理论上对比了分束光栅与压电反射镜的相位调整性能。实验结果表明,采样频率为500Hz时,干涉条纹的低频漂移得到有效抑制,相位锁定精度达到0.13rad(3σ),即条纹漂移量低于±0.021个周期。该方法可以实时有效地锁定曝光干涉条纹,提高曝光对比度。且分束光栅偏转对条纹周期影响小,相位调整性能仅与分束光栅参数相关,便于光路设计。 |
| 关键词 | 全息 全息光栅 干涉条纹锁定 分束光栅 叠栅条纹 |
| DOI | 6BF782C95222CBCBDD7833A50331C173 |
| 语种 | 中文 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58520 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋莹,赵旭龙,姜岩秀,等. 移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定[J]. 中国激光,2017:233-240. |
| APA | 宋莹,赵旭龙,姜岩秀,巴音贺希格,&齐向东.(2017).移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定.中国激光,233-240. |
| MLA | 宋莹,et al."移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定".中国激光 (2017):233-240. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定.caj（373KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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