Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作 | |
| 张轲; 苗斌; 丁祥桢; 顾智琦; 潘天龙; 李加东; 吴东岷; 张秋菊 | |
| 2017-04-15 | |
| 发表期刊 | 压电与声光
 |
| 页码 | 260-264 |
| 摘要 | 设计并制作了一种液路自对准的高频硅基超声雾化器,利用有限元分析软件对器件的特性进行了系统的仿真分析,得到施加30V的激励电压后器件的阻抗特性,相应谐振频率下的位移、应力分布及变幅杆各部分振动位移随时间的瞬态变化图。结果表明,仿真分析与理论设计相符。最后,通过微机电系统(MEMS)工艺制备了谐振频率为1 MHz的硅基超声雾化器,为后期实验测试打好基础。 |
| 关键词 | 高频硅基超声雾化器 有限元分析 谐振频率 变幅杆 微机电系统 |
| DOI | 0BBBA8F5F69F418525C4CCF21F1FB96F |
| 语种 | 中文 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58480 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张轲,苗斌,丁祥桢,等. 新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作[J]. 压电与声光,2017:260-264. |
| APA | 张轲.,苗斌.,丁祥桢.,顾智琦.,潘天龙.,...&张秋菊.(2017).新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作.压电与声光,260-264. |
| MLA | 张轲,et al."新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作".压电与声光 (2017):260-264. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作.（479KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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