Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| MOEMS集成波长选择开关的设计及研究 | |
时建; 梁静秋 ; 陈成; 吕金光; 秦余欣; 高丹
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| 2017-09-15 | |
| 发表期刊 | 微纳电子技术
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| 页码 | 597-604+626 |
| 摘要 | 研究一种基于电磁驱动微光机电系统(MOEMS)光开关阵列的串联集成波长选择开关结构,经过理论分析与计算,得出螺旋形线圈在相同电流密度下相比于八边形和四边形线圈能得到更大的电磁力;通过模态分析得到在设计的悬臂结构下,支撑臂响应时间约为22 ms。采用溅射、光刻、腐蚀和电铸等MOEMS工艺完成了光开关悬臂的制作,并通过制作对准标记及采用可见光与红外光相结合的装调方法,完成了1×8阵列的波长选择开关系统集成。经过测试得到,开关上升和下降的时间均约为20 ms,当电流为0.4 A时,支撑臂的挠度为1.28 mm,能达到系统光路转换的目的。该波长选择开关能够在2 V电压下,实现对8个不同波长信道的任意选择,其最大的插入损耗为1.741 dB,信道均匀性达到0.55 dB;插入损耗的测试结果与计算结果较吻合。 |
| 关键词 | 波分复用 波长选择开关 微光机电系统(Moems) 光通信 电磁驱动 |
| DOI | 1B5EC3A587E97CB9D5A887D38F88F518 |
| 语种 | 中文 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58450 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 时建,梁静秋,陈成,等. MOEMS集成波长选择开关的设计及研究[J]. 微纳电子技术,2017:597-604+626. |
| APA | 时建,梁静秋,陈成,吕金光,秦余欣,&高丹.(2017).MOEMS集成波长选择开关的设计及研究.微纳电子技术,597-604+626. |
| MLA | 时建,et al."MOEMS集成波长选择开关的设计及研究".微纳电子技术 (2017):597-604+626. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| MOEMS集成波长选择开关的设计及研究.（723KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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