Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
2m口径平面镜高精度面形检测方法研究 | |
朱硕; 张晓辉 | |
2016-09-25 | |
摘要 | <正>大口径光学平面反射镜作为光学系统自准检验常用的标准器具,其自身面形精度直接影响光学系统的像质评价结果,同时平面镜作为光学系统中的重要组成元件,其面形精度直接影响光学系统的成像质量。随着对大口径光学系统分辨率要求的提高,光学元件的口径不断增大,目前常用的干涉检验法已无法对口径超过1m的平面镜直接进行全口径面形检测,大口径平面镜面形检测多年来一直受庞大的设备费用与测量设 |
关键词 | 光学系统 组成元件 成像质量 光学元件 设备费用 像质评价 平面反射镜 系统分辨率 干涉检验 子孔径 |
语种 | 中文 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58046 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱硕,张晓辉. 2m口径平面镜高精度面形检测方法研究[J],2016. |
APA | 朱硕,&张晓辉.(2016).2m口径平面镜高精度面形检测方法研究.. |
MLA | 朱硕,et al."2m口径平面镜高精度面形检测方法研究".(2016). |
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