Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于直线光栅尺的高精度定位平台的研制 | |
| 陈昊; 陈琦 | |
| 2016-04-25 | |
| 发表期刊 | 制造业自动化
 |
| 期号 | 4页码:140-142 |
| 摘要 | 在精密加工领域,为满足某些精密器件和设备的定位需求,研制了一种高精密定位平台。本定位平台以直线光栅尺为整个系统的位置反馈元件,以直流力矩电机为执行元件,采用摩擦驱动的方式,结合PID算法,完成了高精度定位平台的设计。定位平台可以在200mm的行程范围内,平均定位精度可以达到150nm。同时,设计开发了上位机控制程序,使人机交互更加友好。 |
| 关键词 | 直线光栅尺 摩擦驱动 精密定位 Pid控制 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57803 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈昊,陈琦. 基于直线光栅尺的高精度定位平台的研制[J]. 制造业自动化,2016(4):140-142. |
| APA | 陈昊,&陈琦.(2016).基于直线光栅尺的高精度定位平台的研制.制造业自动化(4),140-142. |
| MLA | 陈昊,et al."基于直线光栅尺的高精度定位平台的研制".制造业自动化 .4(2016):140-142. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 基于直线光栅尺的高精度定位平台的研制.c（301KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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