Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 全频段亚纳米精度氟化钙材料加工 | |
张春雷 ; 徐乐; 刘健; 马占龙; 王飞; 谷永强; 代雷; 彭石军
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| 2016-11-15 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
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| 期号 | 11页码:2636-2643 |
| 摘要 | 考虑用CaF_2材料制作投影光刻物镜可以明显提高其性能指标,本文研究了CaF_2材料加工工艺的全流程,以实现CaF_2材料的全频段高精度加工。首先,利用沥青抛光膜和金刚石微粉使CaF_2元件有较好的面形和表面质量。然后,优化转速、抛光盘移动范围、压力等加工工艺参数,并使用硅溶胶溶液抛光进一步降低CaF_2元件的高频误差,逐渐去除加工中产生的划痕并且获得极小中频误差(Zernike残差)和高频粗糙度。最后,在不改变CaF_2元件高频误差的同时利用离子束加工精修元件面形。对100mm口径氟化钙材料平面进行了加工和测试。结果表明:其Zernike 37项拟合面形误差RMS值可达0.39nm,Zernike残差RMS值为0.43nm,高频粗糙度均值为0.31nm,实现了对CaF_2元件的亚纳米精度加工,为研发高性能深紫外投影光刻物镜奠定了良好基础。 |
| 关键词 | 氟化钙 投影光刻物镜 精密光学加工 亚纳米精度加工 离子束修形(Ibf) |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57798 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张春雷,徐乐,刘健,等. 全频段亚纳米精度氟化钙材料加工[J]. 光学精密工程,2016(11):2636-2643. |
| APA | 张春雷.,徐乐.,刘健.,马占龙.,王飞.,...&彭石军.(2016).全频段亚纳米精度氟化钙材料加工.光学精密工程(11),2636-2643. |
| MLA | 张春雷,et al."全频段亚纳米精度氟化钙材料加工".光学精密工程 .11(2016):2636-2643. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 全频段亚纳米精度氟化钙材料加工.caj（596KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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