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大口径离轴凸非球面的加工和检测(英文)
郑立功; 王孝坤; 薛栋林; 李锐钢; 张峰; 张忠玉; 张学军
2016
发表期刊光子学报
期号7
摘要将光学系统波像差检验技术与子孔径拼接测试技术相融合提出了凸非球面系统拼接检测方法,对该方法的原理和实现步骤进行了分析和研究,并建立了合理的子孔径拼接数学模型.依次利用计算机控制光学表面成形技术和磁流变抛光技术对一包含大口径凸非球面的离轴三反光学系统的各反射镜进行加工,并对整个系统进行装调和测试.测定光学系统各视场的波像差分布,通过综合优化子孔径拼接算法和全口径面形数据插值求解得到大口径凸非球面全口径的面形信息.结合工程实例,对一口径为292mm×183 mm的离轴非球面次镜进行了系统拼接测试和加工,其最终面形分布的均方根值为0.017λ(λ=632.8nm).
关键词光学加工 光学检测 凸非球面 计算机控制光学表面成形 磁流变抛光 子孔径拼接
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57717
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
郑立功,王孝坤,薛栋林,等. 大口径离轴凸非球面的加工和检测(英文)[J]. 光子学报,2016(7).
APA 郑立功.,王孝坤.,薛栋林.,李锐钢.,张峰.,...&张学军.(2016).大口径离轴凸非球面的加工和检测(英文).光子学报(7).
MLA 郑立功,et al."大口径离轴凸非球面的加工和检测(英文)".光子学报 .7(2016).
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