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高分辨率4f传像系统分辨率的影响因素分析
夏春秋; 钟兴; 刘春雨; 韩培仙; 金光
2016-07-15
发表期刊光学精密工程
期号7页码:1573-1581
摘要研究了在实际应用中4f传像系统分辨率的影响因素及其作用机制,用于指导系统的设计和装调。首先,在理论上分析了由装调误差引起的像差对系统光学传递函数(MTF)产生的影响,并建立了描述二者关系的数学模型。基于该模型研究了1μm分辨率4f光学系统的装调误差,仿真计算了系统含有透镜偏心、倾斜、位移误差对MTF的影响,得到了分辨率随误差的变化曲线。实验结果表明,倾斜在15″以内,偏心误差在0.02mm,位移在0.01mm范围内,装调误差均会导致分辨率下降,虽然倾斜在极小范围内微调时分辨率会提高,但总的变化趋势不变。绘制的装调误差与分辨率的关系图,可为高分辨率4f系统的误差预估提供参考。
关键词信息光学 4f传像系统 装调误差 数学模型 曲线分析 高分辨率
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57625
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
夏春秋,钟兴,刘春雨,等. 高分辨率4f传像系统分辨率的影响因素分析[J]. 光学精密工程,2016(7):1573-1581.
APA 夏春秋,钟兴,刘春雨,韩培仙,&金光.(2016).高分辨率4f传像系统分辨率的影响因素分析.光学精密工程(7),1573-1581.
MLA 夏春秋,et al."高分辨率4f传像系统分辨率的影响因素分析".光学精密工程 .7(2016):1573-1581.
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